洁净室火灾危害预防及处理:
警报设备:
a. 装置位置:
1、高度:洁净室内部高度通常较一般建筑为大,在选用探测器时应将天花板高度考虑在内。
2、通风换气设备:装设侦烟式探测器时,应设于烟雾流动必经途径,装设感热式探测器时,应设于易蓄热处,因此通风换气设备之出风口或回风口,应注意与探测器保持一定距离,方能迅速感应及动作。
3 、层流现象:洁净室内因换气频繁,平均约六秒钟席卷整个空间一次,同时间单位内的空气流动量高出一般建筑物甚多,因此空气流动的层流现象应考虑在内,以避免探测器无法有效测知火灾,形同虚设。
b.种类:火焰式探测器、侦烟式探测器、极早期探测装置,洁净室防灾时,重点在于早期发现,因此灵敏度越高越好,以期灾害发生初期便能反应,甚至在尚未发火前便能测知有发火的可能性,如极早期探测装置便是以此为理念的设计。
送风量大
洁净度的提高和维持是半导体器件厂房空调系统设计和运行的重要任务,这一任务的完成要依赖很高的送风量,是以高能耗为代价的。就送风量而言,一般办公大楼换气次数为10h-1左右,而大规模半导件器件厂房内,为了满足相应的洁净度要求,需要保证很高的换气次数,致使循环风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到400h-1,10000级洁净室的换气次数日选到40 h-1,100000级洁净室的换气次数也要30 h-1。
人是净化间内主要尘源之一。尤其是工作人员在洁净环境中的活动,会明显地增加洁净环境的污染程度。因此,要获得生产环境所需要的空气洁净度等级,对净化间的人员活动进行控制,是有效的途径和措施。要把净化间各项规章制度真正落到实处,关键就是人员的日常管理,把人员净化管理作为首要控制要素,所以应该针对净化间进出人员进行各项培训。 (1)对新入职人员进行净化间洁净知识培训。
(2)对操作人员在净化间操作设备,搬运物料的专项培训。
(3)对所有进出净化间的人员进行衣着穿戴,进出制度的培训。
(4)对所有人员在净化间的日常行为规范的培训。
每项培训后,都要组织进行培训效果的评估和考核,使人员在意识上认知:人员是净化间内重要污染源,使大家在行动上能恪守相关的行为准则,比如:
a. 所有人员必须建立一个净化间的概念,必须清楚地了解所有不规范的行为均有可能产生出废品,并列举出正确的净化间行为规范及不规范的行为的种类。
b. 进入净化间时,必须按正确流程穿戴净化服、口罩、手套、净化鞋。更换衣服时,必须防止干净的净化服拖到地面,或者和人员日常的非净化服装混放,造成净化服表面被沾污。
c. 在净化间中,人员的说话、咳嗽、打喷嚏等都会使唾液从口罩与皮肤的缝隙处喷出而污染产品;在咳嗽或打喷嚏时,必须将头从产品处移开,打喷嚏后一般都要更换口罩;口罩一定要罩在鼻子上而不得戴在鼻下。